저진공 SPUTTER

SMC-MV12.jpg
  • Rotary Pump로 구성된 저진공 영역에서 수분과 산소, 잔류 불순물 때문에 산화물이 많이 형성되므로 , 산화가 쉽게 일어나지 않는 non-oxidising 금속( Au, Pt, Pt-Pd, Au-Pd, Ag 등)을 사용하여 도전성 박막을 형성시켜야 한다. 

  • 저진공에서는 코팅된 Pt와 Au 박막을 원소 분석하면 산화물이 많이 포함 되었음을 알 수 있다. 

  • 따라서, 고순도의 불활성 Ar. 가스를 주입하여 시료 챔버 내부에 존재하는 산소나 수증기의 불순물을 제거하는 Auto Purging을 수행하고 코팅을 하면 산화와  다른 불순물과의 화학반응을 줄일 수 있다.

  • Target Head가 Magnetron 방식으로 구성되어있지 않으면, 시료에 Thermal Damage를 많이 주게 되므로, 열변형이 쉬운 시료는 주의를 해야 한다.

  • 이러한 이유로, 고분해능의 FE_SEM에서는 고진공용 스퍼터를 사용해야 한다.