MODEL SP-15T

고진공용 스퍼터 ( High Vacuum Sputter - Turbo Pump​)

SP-15T은 산화에 강한 금속 뿐만 아니라, 산화가 잘 일어나는 금속 코팅도 가능한 고성능, 고품질의 고진공용 코팅 시스템입니다.

산화성, 비산화성 금속에 따른 메뉴 선택으로 빠른 시간에 박막 코팅을 완료할 수도 있습니다.

FE-SEM, FIB, TEM, EDS, WDS, EBSD와 같이 고해상도 및 고품질 관찰과 분석이 필요한 시료에 나노 입자 크기의 균일한 전도성 코팅층 형성이 가능합니다. 

​또한 2차 전지, 반도체 등 다양한 박막 응용 분야에서도 널리 사용합니다.  

고진공 스퍼터_edited_white_edited.jpg

   Turbo Pumped 고진공 스퍼터의 특징

- 10인치 LCD Touch로 전 과정 자동으로 완료.

- Start 버튼부터 코팅 후, Vent 완료까지 3분 (신속 코팅모드)

- 실시간 두께 측정 QCM (분해능 0.1nm) 기본장착

- 3축 Sample Stage 기본 장착으로 최상의 편리성 제공

- LCD Touh로 시료를 상하이동, 수평-경사축 회전을 자동으로

- 시료의 WD(Working Distance) : 20mm ~ 80mm 

​시료 3축 이동 스테이지

(각도 고정형 : 경사 30도)

경사회전_모듈.png
수평회전_모듈.png
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​시료 3축 이동 스테이지

(각도 가변형 : 0 ~ 80도)

가변틸트0도.jpg
가변틸트45도.jpg
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