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MODEL CE-15T

고진공용 카본증착기 (High Vacuum Carbon Evaporator)

카본증착기는 저진공 영역에서 시료의 카본 코팅은 x25,000 배율 이상에서 카본입자의 구조가 관찰되므로 Normal SEM에서 시료 관찰 또는 EDS와 같은 분석에 주로 사용된다.​

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High Vacuum 영역에서 형성된 시료의 카본 박막은 균일하며 불순물이 없을 뿐만 아니라, 최고 배율에서도 입자가 보이지 않는 비정질 구조로 박막이 형성되므로 고분해능의 FE-SEM, TEM 관찰과 FIB 및 EBDS 분석에 사용된다.

SMT15 front.png

 고진공 카본 증착기의 특징

- 두께 측정 FTM (분해능 0.1nm) 기능과

  3축 Auto Sample Stage가 내장

- Carbon Fiber : 자동공급장치 부착으로

  매번 파이버 교체없이 수 십회 코팅 가능 

- Carbon Lod : 

METAL

EVAPORATOR

낮은 융점의  금속코팅

SEM-TEM  어퍼처 크리닝.  

​카본파이버 자동공급 장치

CarbonFiberAutoFeeder.png

​카본 로드 ( Carbon Rod ) Head

CarbonLodHead.png

  • High Vacuum 영역에서 형성된 시료의 카본 박막은 균일하며 불순물이 없고, 최고 배율에서도 입자가 보이지 않는 비정질 구조로 형성되므로 FE-SEM, TEM 관찰과 FIB 및 EBSD 분석에 사용된다.

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  •  카본 Fiber를 사용한 Flash 방식의 카본 코팅은 사용이 간단하나 섬세한 두께 조절이 곤란하다는 단점이 있다. 그러나, 간단하고 편리하게 고순도의 카본 박막을 얻을 수 있으므로 가장 넓이 사용되는 방식이라고 할 수 있다.

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  • Carbon Rod를 사용한 카본 코팅은 세밀한 두께 조절과 고순도의 카본 박막을 얻을 수 있는 장점이 있으나 사용 시, 수작업으로 카본 Rod를 Shaping하고 장착하는 번거로움 때문에 실제 실험 현장에서는 Carbon Rod 방식보다 Carbon Fiber 방식이 많이 사용되고 있다. 

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  • Carbon Rod에서 Pulse 제어방식으로 제어하면 Rod에서 발생하는 열에 의한 손상을 줄일 수 있다. 특히, 열 에 취약한 시료는 Carbon Rod와 시료 사이의 거리(WD)를 멀게 함으로서 열손상을 줄일 수 있다.

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