MODEL CE-15T

고진공용 카본증착기 (High Vacuum Carbon Evaporator)

카본증착기는 저진공 영역에서 시료의 카본 코팅은 x25,000 배율 이상에서 카본입자의 구조가 관찰되므로 Normal SEM에서 시료 관찰 또는 EDS와 같은 분석에 주로 사용된다.

High Vacuum 영역에서 형성된 시료의 카본 박막은 균일하며 불순물이 없을 뿐만 아니라, 최고 배율에서도 입자가 보이지 않는 비정질 구조로 박막이 형성되므로 고분해능의 FE-SEM, TEM 관찰과 FIB 및 EBDS 분석에 사용된다.

SMT15 front.png

 고진공 카본 증착기의 특징

- 두께 측정 FTM (분해능 0.1nm) 기능과

  3축 Auto Sample Stage가 내장

- Carbon Fiber : 자동공급장치 부착으로

  매번 파이버 교체없이 수 십회 코팅 가능 

- Carbon Lod : 

METAL

EVAPORATOR

낮은 융점의  금속코팅

SEM-TEM  어퍼처 크리닝.  

​카본파이버 자동공급 장치

CarbonFiberAutoFeeder.png

​카본 로드 ( Carbon Rod ) Head

CarbonLodHead.png
  • High Vacuum 영역에서 형성된 시료의 카본 박막은 균일하며 불순물이 없고, 최고 배율에서도 입자가 보이지 않는 비정질 구조로 형성되므로 FE-SEM, TEM 관찰과 FIB 및 EBSD 분석에 사용된다.

  •  카본 Fiber를 사용한 Flash 방식의 카본 코팅은 사용이 간단하나 섬세한 두께 조절이 곤란하다는 단점이 있다. 그러나, 간단하고 편리하게 고순도의 카본 박막을 얻을 수 있으므로 가장 넓이 사용되는 방식이라고 할 수 있다.

  • Carbon Rod를 사용한 카본 코팅은 세밀한 두께 조절과 고순도의 카본 박막을 얻을 수 있는 장점이 있으나 사용 시, 수작업으로 카본 Rod를 Shaping하고 장착하는 번거로움 때문에 실제 실험 현장에서는 Carbon Rod 방식보다 Carbon Fiber 방식이 많이 사용되고 있다. 

  • Carbon Rod에서 Pulse 제어방식으로 제어하면 Rod에서 발생하는 열에 의한 손상을 줄일 수 있다. 특히, 열 에 취약한 시료는 Carbon Rod와 시료 사이의 거리(WD)를 멀게 함으로서 열손상을 줄일 수 있다.