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SCA-12A Sputter Carbon Coater

스퍼터 카본 융합형

저진공 스퍼터 

저진공에서 코팅된 Pt와 Au 박막에는 산화물이 많이 포함되므로 아르곤 가스를 주입하는 코팅을 권장합니다.  ​고순도의 불활성 Ar. 가스를 주입하여 시료 챔버 내부에 존재하는 산소나 수증기의 불순물을 제거하는 Auto Purging을 수행하고 코팅을 하면 산화방지와  다른 불순물과의 화학반응을 줄일 수 있습니다.  ​

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저진공 카본증착기

저진공 영역에서 시료의 카본 코팅은 x25,000 배율 이상에서 카본입자의 구조가 관찰되므로 Normal SEM에서 시료 관찰 또는 EDS와 같은 분석에 주로 사용됩니다.

카본 증착기 스퍼터 코터 Sputter Coater

스퍼터와 카본 코터의 융합형

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-두께 측정 FTM 기능 (분해능 0.1nm) 부착으로    정확한 두께의 박막 형성이 가능. ​ 0 스퍼터

 

- Au, Pt, Pd, Pt/Pd, Ag, Cu 금속 박막 코팅 ​ 0 카본 코터 - 카본 Fiber를 사용한 카본 박막 코팅

 

-Carbon Fiber A 사용을 완료 후,   자동으로  Fiber B를 선택하여 코팅을 진행.

 non-oxidizing Au, Pt, Pd Coating for Table SEM Observation

스퍼터 헤드

 non-oxidizing Au, Pt, Pd Coating for Table SEM Observation

헤드 1.png

​카본파이버헤드

헤드 2.png

Plasma Cleaning/Etching

  • 금속 시료 표면의 산화물, 레지스트 제거

  • 코팅 전, 시료의 오염과 불순물 제거.

  • 코팅 후, 박막 밀도와 결합력 향상

Plasma Glow Discharding

  • ​Air를 이용한 TEM Grid Mesh의 친수화,

  • 크리닝 유지성 먼지 제거

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