MODEL SOC-12R

스마트 Safe 오스뮴 코터 (Smart Safe Osmium Coater)

SOC-12R은 스퍼터 코팅 방식에 비해, 짧은 시간에 최소의 열손상으로 생물, 섬유 시료에 최고라고 할 수 있다.

Vapor의 확산 상태로 코팅이 이루어지는 CVD 방식으로 스퍼터 이온코터에서는 불가능한 다공성, 복잡한 구조의 시료에도 균일한 코팅이 가능하고, 비정질로 입자성이 없어 저배율부터 Ultra High Resolution 최고 배율까지 관찰이 가능하다.

또한 장시간의 전자선 노출에도 손상이 최소인 많은 장점으로, 이온코터 중에서는 최고 중에 최고라고 할 수 있다.  

그러나, 오스뮴 분말은 상온에서 독성의 유해 기체로 승화되므로, 유해 가스로 부터의 안전성이 얼마나 확보된 장비인지가

오스뮴 코터의 가장 큰 선택의 기준이 됩니다. 

스마트 Safe ​오스뮴 이온코터

osmium side render.png

  스마트 Safe 오스뮴 이온코팅 시스템의  특징과 장점

- 실시간 박막 두께 측정 (분해능 0.1nm) 기본 내장으로 

  => 목표 두께 도달 시, 자동으로 코팅 완료

- 밀폐형 카트리지  방식으로 Osmium 앰플 탈부착

   => 탈부착에 따른 오스뮴 유해가스 접촉 차단

- Flash 방식의 가스 주입으로 코팅 박막에 오스뮴 결정화 방지 

- 오스뮴 주입 양 조절 밸브와 Flash 방식은

    => 소량으로 박막 코팅, 미반응의 유해 가스 방출 최소

- 오스뮴 앰플 교환 시기를 알려주는 알림기능 탑재 

- 이차 보조챔버 장착으로 배출되는 미반응 유해 가스 완전 제거

- 코팅 전, 시료의 오염과 산화막 제거 후, 오스뮴 코팅 진행...

- TEM 관찰을 위한 Glow Discharging 기능 기본 내장. 

  흄 일체형 오스뮴 코팅 시스템은...

- 자동 시료 IN/OUT과 챔버 Up/Dn 

- 투명한 Fume Case에 Air Fan 부착으로 

  => 음압을 동작 중에 항상 음압을 유지하므로 

  => Coating 중, 완료 후 시료를 꺼낼 때

  => 유해 가스 접촉에서 안전한 작업이 가능함.

- Start 버튼 one Touch로

  시료 자동 IN 후, 메인 챔버 자동 Down 후,

  Evacuation과 Coating 일련의 작업이 자동으로

  사용자의 개입없이 완료됩니다. 

- 유해가스의 노출, 누설, 접촉에서 안전성 확보...

음압_흄_구조.png

시료 교환 중에서도 음압으로

안전하게 유해 가스 접촉을 방지

​흄 일체형 오스뮴 코팅 시스템

Os_Fume일체형_외관번호.png

1)시료코팅챔버 2) 1차 보조챔버 (미반응 가스제거용) 3)오스뮴 챔버(앰플)

4)시료  5) 2차 보조탱크(필터, 활성탄)  6) Air Fan (Fume 시스템 음압 유지)

7) 아크릴 케이스( Fume Box)  8) Door(자동 시료 출입)  9)Display LCD(8인치)