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제품 소개

The intuitive design of Semian's products makes it more convenient for users to complete the preparation process. 

세미안 제품의 직관적인 디자인을 통해 더욱 쉽고 편리하게 작업을 완료할 수 있습니다.

세미안 스마트 코터를 지금 만나보세요.

SP-15T Sputter Coater - Turbo Pump

고진공 스퍼터

SP-15T은 산화에 강한 금속 뿐만 아니라, 산화가 잘 일어나는 금속 코팅도 가능한 고성능, 고품질의 고진공용 코팅 시스템입니다.

산화성, 비산화성 금속에 따른 메뉴 선택으로 빠른 시간에 박막 코팅을 완료할 수도 있습니다.

FE-SEM, FIB, TEM, EDS, WDS, EBSD와 같이 고해상도 및 고품질 관찰과 분석이 필요한 시료에 나노 입자 크기의 균일한

전도성 코팅층 형성이 가능합니다. 

 2차 전지, 반도체 등 다양한 박막 응용 분야에서도 널리 사용됩니다.

스퍼터 ( Sputter Coater )

   Turbo Pumped 고진공 스퍼터의 특징

- 10인치 LCD Touch로 전 과정 자동으로 완료.

- Start 버튼부터 코팅 후, Vent 완료까지 3분 (신속 코팅모드)

- 실시간 두께 측정 QCM (분해능 0.1nm) 기본장착

- 3축 Sample Stage 기본 장착으로 최상의 편리성 제공

- LCD Touh로 시료의 상하이동, 수평-경사축 회전을 자동으로

- 시료의 WD(Working Distance) : 20mm ~ 80mm 

​시료 3축 이동 스테이지

(각도 고정형 : 경사 30도)

수평회전_모듈.png
경사회전_모듈.png

​시료 3축 이동 스테이지

(각도 가변형 : 0 ~ 80도)

가변틸트0도.jpg
가변틸트45도.jpg
가변틸트80도.jpg
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SOC-12R Osmium Coater 

​오스뮴 코터

오스뮴 분말은 상온에서 독성의 유해 기체로 승화되므로, 유해 가스로 부터의 안전성 확보가 선택의 가장 큰 기준이 됩니다. 

( 카트리지 방식으로 오스뮴 앰플 탈부착을 안전하게... Flash 방식으로 최소의 양으로 최적의 코팅을 안전하게 장시간 사용)

   

SOC-12R은 스퍼터 코팅 방식에 비해, 짧은 시간에 최소의 열손상으로 생물, 섬유 시료에 가장 적합하다고 할 수 있습니다.

Vapor의 확산 상태로 코팅이 이루어지는 CVD 방식으로 스퍼터 이온코터에서는 불가능한 다공성, 복잡한 구조의 시료에도 균일한

코팅이 가능하고, 비정질로 입자성이 없어 저배율부터 Ultra High Resolution 최고 배율까지 관찰이 가능합니다.

또한 장시간의 전자선 노출에도 손상이 가장 적으므로 이온코터 중에서는 많은 장점을 가지고 있습니다.  

오스뮴 코터 (Osmium Coater)

  흄 일체형 오스뮴 코팅 시스템의 특징

- 자동 시료 IN/OUT과 챔버 Up/Dn 

- 투명한 Fume Case에 Air Fan 부착으로 

  => 음압을 동작 중에 항상 음압을 유지하므로 

  => Coating 중, 완료 후 시료를 꺼낼 때

  => 유해 가스 접촉에서 안전한 작업이 가능함.

- Start 버튼 one Touch로

  시료 자동 IN 후, 메인 챔버 자동 Down 후,

  Evacuation과 Coating 일련의 작업이 자동으로

  사용자의 개입없이 완료됩니다. 

- 유해가스의 노출, 누설, 접촉에서 안전성 확보

오스뮴 흄 일체형

시료 교환 중에서도 음압으로

안전하게 유해 가스 접촉을 방지

 오스뮴 이온코팅 시스템의  특징과 장점

- 실시간 박막 두께 측정 (분해능 0.1nm) 기본 내장

    > 목표 두께 도달 시, 자동으로 코팅 완료

- 밀폐형 카트리지  방식으로 Osmium 앰플 탈부착

    > 탈부착에 따른 오스뮴 유해가스 접촉 차단

- Flash 방식의 가스 주입으로 코팅 박막에 오스뮴 결정화 방지 

- 오스뮴 주입 양 조절 밸브와 Flash 방식

    > 소량으로 박막 코팅, 미반응의 유해 가스 방출 최소

- 오스뮴 앰플 교환 시기를 알려주는 알림기능 탑재 

- 이차 보조챔버 장착으로 배출되는 미반응 유해 가스 완전 제거

- 코팅 전, 시료의 오염과 산화막 제거 후, 오스뮴 코팅 진행...

- TEM 관찰을 위한 Glow Discharging 기능 기본 내장. 

Osmium Coater (오스뮴 코터)

​흄 일체형 오스뮴 코팅 시스템

1)시료코팅챔버 2) 1차 보조챔버 (미반응 가스제거용) 3)오스뮴 챔버(앰플)

4)시료  5) 2차 보조탱크(필터, 활성탄)  6) Air Fan (Fume 시스템 음압 유지)

7) 아크릴 케이스( Fume Box)  8) Door(자동 시료 출입)  9)Display LCD(8인치) 

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CE-15T Carbon Evaporator

고진공 카본 증착기

 저진공 영역에서 시료의 카본 코팅은 x25,000 배율 이상에서 카본 입자의 구조가 관찰되므로  Normal SEM에서 시료 관찰 또는 EDS와 같은 분석에 주로 사용됩니다. 

그러나. High Vacuum 영역에서 형성된 시료의 카본 박막은 균일하며 불순물이 없을 뿐만 아니라, 최고 배율에서도 입자가 보이지 않는 비정질 구조로 박막이 형성됩니다. 이와같이 고진공에서 형성된 카본 박막은 전자빔에  대해 투명한 무정형의 전도층으로  간섭 현상이 발생되지 않습니다.

전자현미경을 이용한 관찰 분석에는 최상이므로 FE-SEM, TEM 과 FIB 도전막 및 EBDS 분석에 사용됩니다. 

Carbon Coater 카본 증착기
CarbonFiberAutoFeeder.png

​카본파이버 자동공급 장치

CarbonLodHead.png

​카본 로드 ( Carbon Rod ) Head

 고진공 카본 증착기의 특징

- 두께 측정 FTM (분해능 0.1nm) 기능과

  3축 Auto Sample Stage가 내장

- Carbon Fiber : 자동공급장치 부착으로

  매번 파이버 교체없이 수 십 회 코팅 가능 

- Carbon Rod : 최상의 카본 박막 형성

메탈 증발

몰리브텐과 텅스텐 보트를 부착하여

낮은 융점의  금속코팅과 

SEM-TEM  어퍼처 크리닝에도 사용됨.  

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SCA-12A Sputter Carbon Coater

스퍼터 카본 융합형

저진공 스퍼터 

저진공에서 코팅된 Pt와 Au 박막에는 산화물이 많이 포함되므로 아르곤 가스를 주입하는 코팅을 권장합니다. 

고순도의 불활성 Ar. 가스를 주입하여 시료 챔버 내부에 존재하는 산소나 수증기의 불순물을 제거하는 Auto Purging을 수행하고 코팅을 하면 산화방지와  다른 불순물과의 화학반응을 줄일 수 있습니다. 

저진공 카본증착기

저진공 영역에서 시료의 카본 코팅은 x25,000 배율 이상에서 카본입자의 구조가 관찰되므로 Normal SEM에서 시료 관찰 또는 EDS와 같은 분석에 주로 사용됩니다.

카본 증착기 스퍼터 코터 Sputter Coater

 - 스퍼터와 카본 코터의 융합형

- 두께 측정 FTM 기능 (분해능 0.1nm) 부착으로

   정확한 두께의 박막 형성이 가능.

0 스퍼터

-  Au, Pt, Pd, Pt/Pd, Ag, Cu 금속 박막 코팅

0 카본 코터

- 카본 Fiber를 사용한 카본 박막 코팅

- Carbon Fiber A 사용을 완료 후,

  자동으로  Fiber B를 선택하여 코팅을 진행.

​스퍼터 헤드 

Sputter Head

Table SEM 관찰에 필요한 non-oxidizing 금속

Au, Pt, Pd 박막 코팅

헤드 1.png

카본파이버 헤드

Carbon Fiber Head

헤드 2.png

Table SEM 관찰에 필요한 non-oxidizing 금속

Au, Pt, Pd 박막 코팅

​플라즈마 클리닝

PLASMA

CLEANING/ETCHING

금속 시료 표면의 산화물, 레지스트 제거

코팅 전, 시료의 오염과 불순물 제거.

코팅 후, 박막 밀도와 결합력 향상

​플라즈마 처리

PLASMA

GLOW DISCHARGING

Air를 이용한 TEM Grid Mesh의 친수화, 크리닝

유지성 먼지 제거

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CA12R / SP 12R Low Vacuum Sputter Coater

​저진공 카본코터 / 저진공 스퍼터

저진공 수정_2.png

Coming Soon

세미안의 SMART MULTI COATING SYSTEM 의 특징

세미안의 스마트 멀티 코팅 시스템 

전자현미경을 이용하여 부도체 또는 도전성이 미흡한 시료를 관찰하기 전, 시료 관찰 중에 발생되는 방전을 방지하기 위해 수 nm의 도전성 박막을 형성시키는 코팅과 박막 코팅 전후, 플라즈마 처리에 의한 시료의 크리닝 또는 TEM 카본-Grid의 표면성질을 친수성으로 변화시키는 일련의 전처리 과정을 연속적으로 수행할 수 있는 올인원 시스템입니다. 

세미안의 스마트 멀티 코팅 시스템

Rotary Pump의 MV (Medium Vacuum) Coating System과 Turbo Pump의 HV (High Vacuum) Coating System으로 구성되어 있습니다.

사용자가 필요로 하는 전처리 기능에 따라 모듈 방식으로 추가하여, 다양한 기능을 일체화한

스마트 멀티 코팅 시스템으로 편리하게 구축할 수 있습니다.

여러 장비를 구입하는 비용과 숙련되지 않은 사용자가 많은 장비 사용법을 숙지해야 하는 고통과 이에 따른 고장의 불편함을 줄일 수 있다는 것이 가장 중요한 특징이라 할 수 있습니다.

세미안의 Auto Sputtering after Etching/Cleaning 기능

코팅하기 전 설정값 (시료 높이, 진공도, 플라즈마 전류)에 따라 시료의 오염이나 불순물을 제거하는 과정인 Etching/Cleaning을 진행한 후, 진공상태를 Break 하지 않고, 5초 이내에 Sputtering 코팅의 설정 조건으로 자동 조절한 후, 박막코팅을 연속적으로 진행할 수 있는 기능입니다.

코팅 전, Etching/Cleaning 과정을 진행하면 오염과 불순물이 제거되고,

코팅 후, 실행하면 시료와 박막의 접착력과 밀도가 향상되는 결과를 얻게 됩니다.

세미안의 스마트 멀티 코팅 시스템의 가장 큰 장점

전-후처리 일련의 과정을 진공 Break 없이 자동으로 One Touch만으로 가능하는 것과 코팅 진행 중에서도 사용자가 시료의 높이를 LCD Touch 방식으로 조절이 가능하다는 것이라고 할 수 있습니다.

세미안의 융합형 오스뮴 코터

시료의 최소 열변형으로 저분해능에서 최고분해능까지 최적의 관찰이 가능한 오스뮴 코팅과 None-Oxidizing 금속 박막 코팅에 사용되는 Sputter 이온코터를 하나로 융합한 제품입니다.

이 제품 또한 코팅 전후 사용자의 목적에 따라 진공을 Break 하지 않고 시료의 Etching 또는 Cleaning이 가능하다는 것이 우수한 장점이라고 할 수 있습니다.

세미안의 카본코팅 모듈

TEM 관찰을 위한 카본의 표면의 성질을 소수성에서 친수성으로 변화시키는 Glow Discharging 또한, 진공상태를 Break 하지 않고, 카본 코팅이 완료된 후, 5초 이내에 설정된 진공도와 플라즈마 강도로 수행할 수 있도록 하는 Auto Glow Discharging after Carbon Coating 기능을 구비하고 있습니다.