제품소개
세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,
보이지 않는 것을 발견하세요.
제품소개
기본에서 하이엔드 레벨까지.
RS 로터리 스퍼터 코터 시리즈
고성능 스퍼터링의 성능에 근접한 저진공 코터의 새로운 기준을 제시합니다. 기초 EM시료 전처리부터 고품질 박막 증착까지, 사용자의 연구 방향과 함께 성장하는 확장형 솔루션을 만나보세요
RS SPUTTER
FOR SEM
SEM 이미징을 위한 파트너
세미안 로터리 스퍼터는 주사전자현미경(SEM) 시료 전처리에 최적화된 표준 모델입니다. 직관적인 터치 인 터페이스를 적용하여 누구나 손쉽게 코팅할 수 있으며, 컴팩트한 사이즈로 실험실의 공간 효율을 극대화했습 니다. 또한, 빠르고 우수한 진공 제어 기능과 안정적인 플라즈마 제어 기술을 통해 일상적인 분석 업무에서도 최상의 이미징 퀄리티를 보장합니다
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신속한 진공 제어: 5.0x10⁻² Torr 수준의 빠른 배기 속도로 공정 시간을 획기적으로 단축하여 작업 효율성을 극대화합니다.
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스마트 터치 컨트롤: 직관적인 터치 패널로 시간 및 두께(FTM) 모드를 간편하게 설정하고 공정 현황을 실시간으로 파악합니다.
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가변형 WD 스테이지: Z축 높이 조절로 시료와 타겟 간 거리를 최적화하여 코팅 균일도를 높이고 열 영향을 최소화합니다.
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저온 마그네트론 기술: 열 발생을 억제하는 기술을 적용하여 생체 시료나 고분자 소재도 손상 없이 정밀하게 코팅할 수 있습니다.
RS SPUTTER SPEC
ㆍWeight: 12kg
ㆍSize: 280(W)x280(D)x350(H)mm
ㆍChamber Size: Ø 120 x 130 mm
ㆍStage: Manual X axis
ㆍWD: 40~80mm
ㆍVaccum Measeurement: Pirani Gauges
ㆍFTM: 0.1nm (unit)
ㆍWorking Pressure: 2.0x10⁻¹~1.0x10⁻² mbar
ㆍBase Pressure: 5.0x10⁻² mbar
ㆍMax Current: 30mA
RS SPUTTER
FOR
THIN FILM
박막 응용 연구를 위한
새로운 기준
세미안로터리 스퍼터 TF모델은 단순한 전처리를 넘어, 고품질의 박막 증착에 최적화된 고사양 모델 입니다. 자동 WD거리 조절 시스템을 기본으로 탑재하여 열 손상을 최소화하고 균일도를 향상할 숭 있으며, 액티브 셔터를 통한 프리 스퍼터링으로 고품질의 박막 응용이 가능합니다. 대면적 균일도 (Planetary Rotation )모듈을 선택하여 까다로운 증착 조건까지 유연하게 대응합니다.
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자동 WD 거리 조절 시스템: 터치패드로 거리를 정밀 조절해 시료의 열 손상을 막고, 공정 후 자동 복귀 기능으로 사용 편의성을 높였습니다.
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스테이지 일체형 정밀 두께 제어: QCM 센서가 스테이지와 함께 이동하며 동일 조건에서 두께를 실시간 감지해, 탁월한 공정 재현성을 보장합니다.
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고순도 박막을 위한 액티브 셔터: 프리 스퍼터링으로 오염원을 사전에 제거하고, 순수한 입자만을 선별 증착하여 코팅 막질의 순도를 극대화합니다.
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대면적 균일도를 위한 유성 회전(옵션): 자전과 공전을 동시에 수행하여, 넓은 면적이나 굴곡진 복잡한 시료 표면에도 균일한 두께의 코팅을 제공합니다.
RS-TF SPEC
ㆍWeight: 12kg
ㆍSize: 280(W)x280(D)x350(H)mm
ㆍChamber Size: Ø 120 x 130 mm
ㆍStage: Auto X axis, Rotation, Planetary Rotation
ㆍWD: 40~80mm
ㆍVaccum Measeurement: Pirani Gauges
ㆍFTM: 0.1nm (unit)
ㆍWorking Pressure: 2.0x10⁻¹~1.0x10⁻² mbar
ㆍBase Pressure: 5.0x10⁻³ mbar
ㆍMax Current: 150mA
RS
CARBON
COATER
정밀 분석을 위한 카본코팅
세미안 로터리 카본 코터는 카본 코팅은 비전도성 시편의 Charging을 방지하며, EDS, EBSD, FIB 등 분석에서 원소 간섭을 최소화하고 미세형상을 왜곡없이 사용하기 위한 적합한 전도성 코팅 방법 입니다. 금속 코팅이 유발하는 원소 간섭이나 표면 왜곡 없이, 시료 본연의 형상을 유지하면서도 우수한 전도성을 부여합니다.
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원소 간섭 없는 정밀 분석: 낮은 원자 번호의 카본 코팅으로 X-선 간섭을 최소화하여, EDS 정량 분석 및 미량 원소 검출 시 최적의 정확도를 제공합니다.
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미세 형상 보존 및 구조 왜곡 방지: 입자가 매우 고운 막을 형성하여, 나노 단위의 미세 구조나 복잡한 표면 디테일을 왜곡 없이 원형 그대로 보존합니다.
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광범위한 두께 적용성: 정밀한 펄스 및 전류 제어를 통해 EBSD용 초박막부터 FIB 가공용 후막까지, 연구 목적에 맞는 두께를 자유롭게 구현합니다.
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편리한 듀얼 모드 지원: 원터치로 전 공정을 수행하는 자동 모드와 연구자의 의도대로 세밀하게 제어하는 수동 모드를 모두 지원하여 운용 효율을 높였습니다.
- Thickness Mode: 0.1nm 분해능의 QCM 센서를 통해 설정한 두께에 도달하면 자동으로 종료.
- Fire Count Mode: 설정한 횟수(Interval, Fire count)만큼 정밀하게 방전하여 코팅 두께를 제어.
RS-TF SPEC
ㆍWeight: 12kg
ㆍSize: 280(W)x280(D)x350(H)mm
ㆍChamber Size: Ø 120 x 130 mm
ㆍStage: Auto X axis, Rotation
ㆍWD: 40~80mm
ㆍVaccum Measeurement: Pirani Gauges
ㆍFTM: 0.1nm (unit)
ㆍWorking Pressure: less than 1.0x10⁻² mbar
ㆍBase Pressure: 5.0x10⁻³ mbar
ㆍMax Current: 100A
