제품소개
세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,
보이지 않는 것을 발견하세요.
제품소개
모델 공통
SMC-20TS
주요 특징
전자현미경 분석 솔루션
다목적 3중 코팅 시스템
전자현미경 관찰 분석에 특화된 3종 타겟(Pt-일반 SEM 관찰용, Cr-고분해능 FE-SEM 관찰용, 카본-EDS/WDX/EBSD 분석용)을 교체없이 선택적으로 사용하여 고분해능 이미징 관찰과 원소 분석 등 다양한 전자현미경 분석 과정에서 시간과 효율을 크게 향상시킬 수 있습니다.
다층 구조 형성 기술
단일 공정으로 완성하는 다층 박막
금속/산화물, 자성/비자성 다층 구조를 연속 공정으로 제작할 수 있습니다. 차세대 메모리 소자의 자성층, 고성능 센서의 기능성 박막, 차세대 디스플레이용 투명전극 등 첨단 전자소자 개발에 필수적인 다층 구조를 효율적으로 구현합니다.
조정비 조절 박막 구현
혁신적 신소재 개발을 위한 솔루션
각 타겟의 증착 속도를 정밀하게 제어하여 조성이 점진적으로 변화하는 기울기 박막 제작이 가능합니다. 이를 통해 다양한 조성의 물성을 한 번에 스크리닝할 수 있어, 신소재 개발 연구의 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
3중 옵션, 3중 레이어. EM 분석과
다층박막 공정의 완벽한 선택.
타겟 1
하나의 시스템에서 구현되는 3중 타겟 스퍼터링으로 연구의 가능성을 확장하세요. Pt, Cr, C 등 타겟 재료를 목적에 따라 자유롭게 선택하여 정밀한 코팅이 가능하며, SEM 관찰, 분석부터 다층박막 제작까지, 연구자의 다양한 니즈를 충족시키는 완벽한 시스템을 경험하세요.
*모든 타겟은 사용자의 Application에 맞게 장착하여 사용가능
타겟 2
타겟 3
삼중 타겟 시스템
백금 (Pt)
Normal SEM 관찰에 최적화되어
10만 배 미만의 선명한 표면
관찰과 구조 분석에 널리 사용
크롬 (Cr)
FE-SEM용 고성능 코팅으로 10
만 배 이상의 고분해능 이미징과
미세구조 관찰에 탁월
카본(C)
EDS, WDX, EBSD 분석 시 타
금속 대비 X선 간섭이 적어 정확한
화학 조성 분석과 미세구조
파악이 가능
+
SMC-20TS
틸트 로테이션 옵션
입체적 코팅을 위한 각도 제어 시스템
각도 제어로 완성하는 입체적 다층박막 증착
70도 Tilt 회전 스테이지로 복잡한 입체 구조의 시료 처리와
미세 구조 코팅에 최적화되어 있습니다
응용분야
· 반도체 3D 소자
· 미세전자기계시스템
· 촉매및전극재료
· 입체적인 광학 부품 및 반도체
· MEMS 분야
+
SMC-20TS
행성형 회전 옵션
대면적 균일 증착 시스템
동시 스퍼터링으로 구현하는 대면적 균일 증착
행성형 회전 시스템 기술로 4인치 웨이퍼 크기의 대면적
코팅이 가능합니다. 직경 100mm 범위까지 균일한 박막
형성이 가능한 진보된 시스템입니다.
응용분야
· OLED, LCD,터치스크린 등 Display 분야
· 박막 전극의 에너지 저장 장치
· 입체적인 광학 부품 및 반도체
· 광학 렌즈 코팅 분야
