제품소개
세미안과 함께하는 미시에서 나노까지의 여정,
보이지 않는 것을 발견하세요.
제품소개
제품의 특징
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다양한 Carbon 소스의 활용: Upward 방식의 Two Thermal Source는 사용자의 용도에 맞게 Carbon Fiber와 Rod 두 개의 Carbon Source를 장착할 수 있어, 편리한 사용과 함께 고품질의 Carbon Rod를 통한 박막 형성이 가능합니다. 두 개의 thermal source를 사용하여 단일 공정으로 두꺼운 박막 형성이 가능하며, 하측에 thermal source를 장착하여 상측에 위치한 시료에 Upward 방식으로 증착 Coating이 이루어져 시료에 카본 부스러기가 오염되지 않습니다.
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Flash와 Pulsed Mode의 Automatic Coating: 종전의 Flash 방식은 thermal evaporation 과정에서 열에 취약한 시료에 thermal damage를 일으킬 수 있습니다. Pulsed mode을 사용하여 Fire 시간과 interval 시간, Fire 횟수를 설정하면 thermal damage 없이 균일한 박막 형성이 가능합니다.
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Thickness Monitor에 의한 Film 증착: Thermal Fire 시간과 interval 시간, Fire 횟수를 설정하여 박막 코팅 진행 중 목표로 설정된 박막 두께에 도달하면 자동으로 진행 과정이 종료됩니다.
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Rotation–Tilt Stage를 이용한 증착 (option module): 다공성이나 입체 형상의 시료의 경우, Tilt(0–45도)와 Rotation이 가능한 Stage를 사용하면 균일하고 입체적인 코팅이 가능해져 전자현미경 관찰 시 발생하는 charging effect를 억제할 수 있습니다.
이중열원
옵션
Carbon Fiber와 Rod는 사용자의 용도에 맞게 두 가지 Carbon Source를 장착할 수 있어 사용이 편리합니다. Carbon Fiber는 사용자에게 편리한 선택이며, Carbon Rod는 고품질 박막 형성이 가능하여 함께 사용하는 장점이 있습니다. 두 개의 열원이 장착되어 한 번의 공정으로 두꺼운 박막 형성이 가능합니다. 또한, 하측에 열원을 장착하여 상측에 위치한 시료에 Upward 방식으로 증착 코팅이 진행되므로 카본 부스러기가 시료에 오염되는 현상이 없습니다.
OPTION 1: Double Carbon Fiber
OPTION 2: Double Carbon Rod
OPTION 3: Carbon Rod + Fiber
OPTION 4: Carbon + Metal Boat
